微米技术的应用
微米技术用于界定物理特征尺寸接近1μm(10-6m)的体系。20世纪60年代后期,研究人员实现了机械装置的小型化和批量制作,这项技术给机械领域带来的进步,就像集成电路技术给电子领域带来的一样。
微米技术也称为微机电系统(MEMS),今天,MEMS器件在汽车安全气囊、喷墨打印机、血压监测仪、投影显示系统以及空间系统中均成为核心部件,已经展现出广泛的用途。
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